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配置特点： 立式前开门结构，整机模块化设计制造 触摸屏+PLC控制系统，对异常报警记录显示，控制可靠。
产品详情
RL500产品主要参数:
真空室内径：φ500mm
真空室高度：700mm
极限真空度：3.0×10-4Pa
恢复真空：大气到4×10-3Pa≤15min
蒸发源：电子枪蒸发
扩散泵：22吋
机械泵：25L/S机械泵 70L/S罗茨泵
配置特点：
立式前开门结构，整机模块化设计制造
触摸屏+PLC控制系统，对异常报警记录显示，控制可靠。
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