XPECVD系列类金刚石硬质碳膜机

PECVD720产品主要参数
真空室内径：φ700mm
真空室高度：480mm
极限真空度：8.0×10-5Pa
恢复真空：大气到4×10-3Pa≤15min

设备名称：XBD720PECVD类金刚石硬碳膜沉积设备
基片：硅片，锗片，硫化锌，硫系玻璃等基材上沉积碳膜，
沉积方式：RF化学气象沉积
设备型号：520PECVD 720PECVD  750PECVD
设备特点：采用全新电磁集能装置使等离子能量集中于表面使工艺稳定，3000多个工艺数据采集，精确为你的工艺保驾护航

使用红外线波长范围：
近红外线： (Near Infra-red， NIR)0.7~2.5 μm
中红外线： (Middle Infra-red， MIR)2.5~12 μm