ZZS-1100真空镀膜机

产品主要参数:
真空室内径：φ1100mm
真空室高度：1300mm
极限真空度：3.0×10-4Pa
恢复真空：大气到4×10-3Pa≤15min
工件夹具：帽形、三扇、行星
基片烘烤：管状加热器，围罩布局
蒸发源1：2只E形电子枪
蒸发源2：电阻
膜厚控制：单（双）探头+晶控
离子源：霍尔离子源
主泵：22吋扩散泵
机械泵： 70L/S机械泵 300L/S罗茨泵
深冷：制冷量2100W

配置特点：
    立式前开门结构，整机模块化设计制造
    触摸屏+PLC控制系统，对异常报警记录显示，控制可靠。
    晶体控制仪结合控制膜厚，对多层膜应对自如
    膜厚均匀性，光谱形状一致，无分层现象
    EXCEL表格导入工艺数据,导出工艺记录数据