真空镀膜机ZZS-1150

产品主要参数
真空室内径：φ1550mm
真空室高度：1600mm
极限真空度：3.0×10-4Pa
恢复真空：大气到4×10-3Pa≤15min
工件夹具转速：3~30 r.p.m
基片烘烤：采用上烘烤，围罩排布
蒸发源1：电子枪蒸发  功率
蒸发源2：电阻蒸发      功率
膜厚控制：六探头+晶控
离子源：霍尔离子源
扩散泵：28吋
机械泵：140L/S机械泵 600L/S罗茨泵

配置特点：
       立式前开门结构，整机模块化设计制造
        触摸屏+PLC控制系统，对异常报警记录显示，控制可靠。
        装载量大，均匀性好，性价比高
       自动化程度高，运行稳定