光学镀膜机维护与保养

光学镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组及电柜（控制电柜、电子枪电柜）组成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。

光学镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度，材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大，蒸发出来的蒸汽分子向四处直射，碰到基片就沉积在基片表面形成膜层。

光学镀膜机维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。自然机器也更健康，效率也就更高。

光学镀膜机的保养

（一）定期更换扩散泵油

扩散泵油使用一段时间，约二个月（两班），因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时，应予更换。

（二）真空泵

机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。

（三）清洁卫生

定期将设备及其周围环境卫生搞好，常保持设备内外清洁，将设备周围环境整理有条，有一个好的工作环境，以保安全。