ZZS-1350真空镀膜机

产品主要参数:
真空室内径：φ1350mm
真空室高度：1500mm
极限真空度：3.0×10-4Pa
恢复真空：大气到4×10-3Pa≤15min
工件夹具：帽形、三扇、行星
基片烘烤：管状加热器，围罩布局
蒸发源1：2只E形电子枪，功率
蒸发源2：电阻蒸发 ，功率
膜厚控制：六探头+晶控
离子源：霍尔离子源
主泵：28吋扩散泵
机械泵： 70L/S机械泵 300L/S罗茨泵
深冷：制冷量2800W

配置特点：
         立式前开门结构，整机模块化设计制造，集成模块组合。
         触摸屏+PLC控制系统，对异常报警记录显示，控制可靠。
          离子源，电子枪都可按要求定制，晶体控制仪结合控制膜厚.运行稳定
          可适合电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、高反膜等