ZZS系列红外真空镀膜机

ZZS1100红外镀膜机参数:
真空室内径：φ1100mm
真空室高度：1200mm
极限真空度：3.0×10-4Pa
恢复真空：大气到4×10-3Pa≤12min
工件夹具：三圆盘平面行星
基片烘烤：自下向上烘烤
蒸发源1：电子枪蒸发
蒸发源2：旋转阻蒸蒸发
膜厚控制：六探头+晶控
离子源：考夫曼离子源
分子泵：3600L/S
机械泵：70L/S机械泵 300L/S罗茨泵

用途：蒸镀红外波段的长波通、段波通滤光片、增透膜等

配置特点：
旋转阻蒸：大功率可旋转阻蒸配置
多位探头：可配合IC6检测多层薄膜
EXCEL表格导入工艺数据,导出工艺记录数据
全自动一键镀膜设备，产品重复性好，低温漂，抗激光阈值高
晶控输出线性控制对照0-10V对应0-1000mA束流或0-1000A电流