CK1200 ITO立式磁控溅射生产线

产品主要参数
 生产线的型号为： CK1200ITO型镀膜生产线。
 生产线为立式不锈钢箱体结构。
 产品为小块镀膜基片。
 生产方式为分段式连续性生产
 主机配有6套真空门锁，来分割真空梯级。
 真空动密封采用磁流体密封装置。
 生产线的控制方式采用网络控制方式，

设备特点
   整体结构性好，生产为一次连续生产
稳定功能传动和阴极，产品可以5段独立式充气系统
分子泵抽气系统，无污染，各个腔室隔离结构